概述
nXDSi 是下一代完全无油的干式涡旋泵，并取代 XDS。nXDS 提高了传统泵的性能，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 可完全进行现场维修。
一般清洁泵送应用
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
真空外壳中不需要使用润滑剂，完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需低程度的特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本
先进的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视
技术数据
标称旋转速度 | 1800 rpm | 1800 rpm | 1800 rpm | 1800 rpm |
排量 | 6.8 m3h-1 | 12.7 m3h-1 | 17.1 m3h-1 | 28.0 m3h-1 |
峰值抽速 | 6.2 m3h-1 | 11.4 m3h-1 | 15.1 m3h-1 | 22.0 m3h-1 |
极限真空（总压力） | 0.020 mbar | 0.007 mbar | 0.007 mbar | 0.030 mbar |
小待机旋转速度 | 1200 rpm | 1200 rpm | 1200 rpm | 1200 rpm |
速度控制精度 |
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（以全速百分比表示） | 1% | 1% | 1% | 1% |
小转速时的抽速 | 4.1 | 7.5 | 9.9 | 10 |
大连续进气口压力 | 200 mbar | 200 mbar | 200 mbar | 50 mbar |
电机功率（一相） | 260 W | 280 W | 300 W | 260 W |
电源连接器（1 相） | IEC EN60320 C13 | IEC EN60320 C13 | IEC EN60320 C13 | IEC EN60320 C13 |
推荐保险丝 | 10A，250Vac rms | 10A，250Vac rms | 10A，250Vac rms | 10A，250Vac rms |
重量 | 26.2 kg / 58 lb | 25.8 kg / 57 lb | 25.2 kg / 56 lb | 25.6 kg / 56 lb |
入口法兰 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 |
排气口法兰 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 |
噪音级别 | 52 dB(A) | 52 dB(A) | 52 dB(A) | 52 dB(A) |
入口法兰处抗振性 | < 4.5 mms-1 (rms) | < 4.5 mms-1 (rms) | < 4.5 mms-1 (rms) | < 4.5 mms-1 (rms) |
密封性（静态） | < 1x10-6 mbar ls-1 | < 1x10-6 mbar ls-1 | < 1x10-6 mbar ls-1 | < 1x10-6 mbar ls-1 |
工作温度范围 | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
