DRYVAC是新推出的干式压缩真空泵，根据应用特点泵可配置不同组件。DRYVAC系列为满足光电、显示器和加工工业应用特点而专门开发。
产品详情
螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本参数：
抽速：450～5000m3/h
真空度：＜0.005mbar
电机功率：11～30KW
噪音：65dB(A)
冷却方式：水冷
技术参数表[50Hz] | DRYVAC DV |
| ||
DV 450 | DV 650 | DV1200 | DVR5000 C-i | |
DV 450-r | DV 650-r | DV1200 ATEX | DVR5000 S-i | |
DV 450 S | DV 650 S | DV1200 S-i | DVR5000 i | |
抽气速率[m³/h] | 450 | 650 | 1250 | 3800 |
大压力差[mbar] | ≤5*10-3 | ≤5*10-3 | ≤5*10-3 | ≤5*10-4 |
螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本特点：
1、泵为完全密封结构，对外只有无磨损的O圈静密封，消除泄漏可能，适用于敏感性工艺。
2、尺寸紧凑，占地面积小高度低，进气口三个方向可选，非常方便集成入整体系统/设备中。
3、优化的螺杆/电机设计，使其成为目前市场上省电的螺杆泵，低于10mbar运行<7Kw(DV650)。
4、泵为变频器控制，集成了温度、排气压强、电流、吹扫气压力等监控保护，提高运行可靠性。
5、水冷泵向环境散热少，噪音低，操作简单。
6、极少的维护保养需求和运行成本，可靠性大、灵活性和系统正常运行时间。
螺杆真空泵-DRYVAC DV典型运用：
薄膜太阳能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.
晶硅太阳能——PECVD,拉晶和铸锭
进出片室LL&ULL
显示器和玻璃镀膜
耐磨涂层技术
卷绕镀
真空炉和热处理
真空干燥
电子束焊接
空间模拟
科研领域
