SCROLLVAC SC-D干式压缩真空泵是按照涡旋式压缩机的工作原理运行，每台泵集成了2个阿基米德螺旋螺杆，通过减小凹槽的容积，并将气体从外向里压缩产生真空
1、SC系列真空泵特点：
·可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品SC5/15/30D；
·高真空，低可达0.01mbar；
·低噪声；
·低振动；
·允许进气压力大；
·重量轻；
·能耗低；
2、应用范围：
·电子束焊接；
·激光；
·检漏系统；
·加速器/同步加速器；
·表面分析仪；
·STM’s；
·ELMI；
·小型涡轮泵组；
·搬送室；
基本参数:
技术参数表[50Hz] | SCROLLVAC SC D | |||
| SC 5D | SC 15D | SC 30D | SC 60D |
抽气速率[m³/h] | 5.4 | 1.3 | 3.4 | 4.8 |
大压力差[mbar] | ≤5*10-2 | ≤1.5 | ≤1.0 | ≤2 |
电机功率[KW] | 1.5 | 2.5 | 2.5 | 3.5 |
进气口径[mm] | 3 | |||
