概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒
堆积，从而降低了总体占地面积。
技术数据
| iH80 | iH160 | iH600 | iH1000 | iH1800 |
峰值速度 | 103 m3h-1 | 165 m3h-1 | 600 m3h-1 | 1000 m3h-1 | 1800 m3h-1 |
| 61 cfm | 97 cfm | 353 cfm | 589 cfm | 1060 cfm |
| 1717 l min-1 | 2750 l min-1 | 10000 l min-1 | 16670 l min-1 | 30000 l min-1 |
极限真空 | 1 x 10-2 mbar | 1 x 10-2 mbar | 7 x 10-4 mbar | 1 x 10-3 mbar | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | 7.5 x 10-3 Torr | 5.3 x 10-4 Torr | 7.5 x 10-4 Torr | 7.5 x 10-4 Torr |
| 1 Pa | 1 Pa | 0.07 Pa | 0.1 Pa | 0.1 Pa |
典型轴封氮流量 | 4 slm | 4 slm | 4 slm | 4 slm | 4 slm |
进气口连接 | ISO63 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ISO160 |
出口连接 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 | 120 l h-1 | 240 l h-1 | 240 l h-1 | 240 l h-1 |
| 2 l min-1 | 2 l min-1 | 4 l min-1 | 4 l min-1 | 4 l min-1 |
重量 | 240 kg | 244 kg | 415 kg | 430 kg | 502 kg |
极限功率输入 | 2.7 kW | 3.1 kW | 3.4 kW | 3.8 kW | 4.1 kW |
电机额定功率 | 3.5 kW | 5.0 kW | 6.1 kW | 6.1 kW | 7.0 kW |
油容量 | 0.7 l | 0.85 l | 1.43 l | 1.48 l | 1.6 l |
