概要
GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
负载锁
输送
计量
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比，设施成本多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
| GX100 | GX600 | GX1000 |
性能 |
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峰值速度 | 105 m3h-1 | 620 m3h-1 | 800 m3h-1 |
| 62 ft3min-1 | 365 ft3min-1 | 471 ft3min-1 |
| 1750 lmin-1 | 10333 lmin-1 | 13333 lmin-1 |
极限压力 | 5 x 10-3 mbar | 7 x 10 -4 mbar | 1 x 10-3 mbar |
| 3.75 x 10-3 Torr | 5.25 x 10-4 Torr | 7.5 x 10-4 Torr |
| 0.5 Pa | 0.07 Pa | 0.10 Pa |
700 Torr 排气压力下的极限 |
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功率 | 1 kW | 1.6 kW | 1.6 kW |
AUC（有源设备控制器） | 0.05 kW | 0.05 kW | 1.05 kW |
水* |
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水入口 | 1 slm | 2 slm | 2 slm |
氮气 | 0 slm | 0 slm | 4 或 14 slm ** |
安装详细信息 |
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占地面积（不包括排气装置） | 0.20 m2 | 0.20 m2 | 0.20 m2 |
重量 | 120 kg | 220 kg | 230 kg |
入口连接 | ISO 63 | ISO 100 | ISO 100 |
出口连接 | NW25 | NW25 | NW25 |
极限噪音 | <55 dB(A) | <55 dB(A) | <55 dB(A) |
