新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了独特的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX 系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
功能和优势
紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。
独特的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。
| EPX180 | EPX500 |
峰值速度 | 170 m3h-1 | 500 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | 295 ft3min-1 |
| 2835 l min-1 | 8338 l min-1 |
极限真空 |
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| <1 x 10-4 mbar | <1 x 10-6 mbar |
| <7.5 x 10-5 Torr | <7.5 x 10-7 Torr |
| <1 x 10-2 Pa | <1 x 10-4 Pa |
预热时间（达到标称性能） | 30 分钟 | 30 分钟 |
入口法兰 | ISO63 | ISO160 |
出口法兰 | NW25 | NW25 |
噪音 | <59 dB(A) | <59 dB(A) |
小冷却水流速 | 2 l m-1 | 2 lmin-1 |
冷却水温度 | 15 – 35 °C | 15 – 35°C |
电源供给 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
极限功率 | 1.4 kW | 1.4 kW |
电机额定功率 | 3.0 kW | 3.0 kW |
TIM | C3 | SPI |
重量 | 43.5 kg | 45.2 kg |
